Descripción
La válvula de diafragma Swagelok ALD7A de ultra alta pureza ofrece la precisión y consistencia necesarias para maximizar la producción de chips en las aplicaciones de fabricación de semiconductores.
Las válvulas Swagelok ALD7A de ultra alta pureza ofrecen la consistencia y capacidad de caudal, la velocidad del actuador, la temperatura y la limpieza necesaria para maximizar la producción de chips en las herramientas de fabricación de semiconductores nuevas o existentes.
Basándose en las válvulas ALD7, de probada eficacia, la válvula de diafragma de ultra alta pureza Swagelok® ALD7A se ha mejorado con la posibilidad de ajustar el caudal en campo, lo que permite una regulación precisa del rendimiento del caudal directamente en el entorno de la herramienta. Las válvulas ALD7A están diseñadas específicamente para ofrecer un rendimiento preciso y repetitivo en cuanto a caudal y actuación en condiciones de ciclo exigentes, y ahora ofrecen la capacidad adicional de ajustar con precisión el caudal para adaptarlo a condiciones de proceso específicas, reducir la variabilidad entre cámaras y herramientas, y optimizar el control de la dosificación sin necesidad de rediseñar el sistema.
ALD3, ALD6, ALD7A, and ALD7C Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 482°F (250°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Referencias
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