Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7C
Swagelok

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza, Serie ALD7C

Las válvulas de diafragma de ultra alta pureza Swagelok ALD7C ofrecen un alto rendimiento, rapidez y fiabilidad en las aplicaciones ALD más avanzadas.

Descripción

Las válvulas de diafragma de ultra alta pureza Swagelok ALD7C ofrecen un alto rendimiento, rapidez y fiabilidad en las aplicaciones ALD más avanzadas.

La ALD7C está diseñada para reducir la variabilidad provocada por las válvulas, lo que ofrece un caudal y un rendimiento de sincronización estables a temperaturas elevadas y en procesos químicos agresivos.

La válvula de Diafragma de Ultra Alta Pureza ALD7C de Swagelok® es la última incorporación a la gama líder en el sector de Swagelok de válvulas de ultra alta pureza para el proceso de capas atómicas. La ALD7C presenta una plataforma de válvulas de cápsula totalmente reparables y una estructura de Aleación 22, lo que proporciona la resistencia a la corrosión, la capacidad para altas temperaturas y la facilidad de mantenimiento que requieren las aplicaciones avanzadas de procesos de semiconductores.

La ALD7C extiende la plataforma ALD7A para aquellas aplicaciones en las que la temperatura, los productos químicos o la facilidad de mantenimiento plantean exigencias adicionales a la válvula. Combina la construcción en Aleación 22 con una arquitectura de cápsula totalmente reparable, con un diseño que garantiza la consistencia de la dosis, la estabilidad térmica y la resistencia a la corrosión que requieren los procesos avanzados de ALD y ALE. Los procesos ALD suelen ser más sensibles a la consistencia del caudal a largo plazo en millones de ciclos. Además, los procesos ALE ponen a prueba el tiempo de respuesta y la repetitividad temporal, especialmente con pulsos de corta duración. La válvula ALD7C está diseñada para tratar ambas necesidades.

Referencias

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