Descripción
Las válvulas de diafragma de ultra alta pureza Swagelok ALD7C ofrecen un alto rendimiento, rapidez y fiabilidad en las aplicaciones ALD más avanzadas.
La ALD7C está diseñada para reducir la variabilidad provocada por las válvulas, lo que ofrece un caudal y un rendimiento de sincronización estables a temperaturas elevadas y en procesos químicos agresivos.
La válvula de Diafragma de Ultra Alta Pureza ALD7C de Swagelok® es la última incorporación a la gama líder en el sector de Swagelok de válvulas de ultra alta pureza para el proceso de capas atómicas. La ALD7C presenta una plataforma de válvulas de cápsula totalmente reparables y una estructura de Aleación 22, lo que proporciona la resistencia a la corrosión, la capacidad para altas temperaturas y la facilidad de mantenimiento que requieren las aplicaciones avanzadas de procesos de semiconductores.
La ALD7C extiende la plataforma ALD7A para aquellas aplicaciones en las que la temperatura, los productos químicos o la facilidad de mantenimiento plantean exigencias adicionales a la válvula. Combina la construcción en Aleación 22 con una arquitectura de cápsula totalmente reparable, con un diseño que garantiza la consistencia de la dosis, la estabilidad térmica y la resistencia a la corrosión que requieren los procesos avanzados de ALD y ALE. Los procesos ALD suelen ser más sensibles a la consistencia del caudal a largo plazo en millones de ciclos. Además, los procesos ALE ponen a prueba el tiempo de respuesta y la repetitividad temporal, especialmente con pulsos de corta duración. La válvula ALD7C está diseñada para tratar ambas necesidades.
Referencias
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