Válvulas de Diafragma para Inmersión Térmica, Serie DH
Swagelok

Válvulas de Diafragma para Inmersión Térmica, Serie DH

Válvulas de diafragma de inmersión térmica utilizadas en procesos de alta temperatura como la deposición de capas atómicas (ALD) y aplicaciones de distribución de precursores.

Descripción

Válvulas de diafragma de inmersión térmica utilizadas en procesos de alta temperatura como la deposición de capas atómicas (ALD) y aplicaciones de distribución de precursores.

Las válvulas de diafragma de inmersión térmica Swagelok Serie DH ofrecen una actuación de alta velocidad y están diseñadas para un rendimiento óptimo en procesos de alta temperatura.

Las válvulas de diafragma de inmersión térmica serie DH Swagelok® están diseñadas para aplicaciones en las que la válvula debe estar totalmente contenida en un entorno de alta temperatura y alta pureza, como las aplicaciones de deposición de capas atómicas (ALD) y de suministro de precursores. Estas válvulas tienen un asiento de PFA de ultra alta pureza totalmente contenido que ofrece compatibilidad con un amplio rango de productos químicos y una excelente resistencia a la deformación y la contaminación. El paso de caudal muy dinámico minimiza las zonas de atrapamiento y maximiza la capacidad de caudal.

Están disponibles con coeficientes de caudal hasta 0,60, una variedad de conexiones finales de 1/4 y 3/8 pulg. y modelos actuados neumática y manualmente para satisfacer un amplio rango de necesidades del sistema. El actuador “normalmente cerrado” puede abrir o cerrar la válvula en menos de 5 ms, y la válvula está diseñada para un rendimiento óptimo a 220°C (428°F).

Referencias

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