Descripción
Tecnología avanzada de deposición de capas atómicas con caudales 2-3 veces superiores a los de otras válvulas ALD gracias a la válvula ALD20 de ultra alta pureza.
Las válvulas Swagelok ALD20 de ultra alta pureza tienen una gran capacidad de caudal, ideal para procesos de deposición de capas atómicas que requieren gases precursores a baja presión de vapor.
La válvula de alto caudal Swagelok® ALD20 de ultra alta pureza ofrece la fiabilidad y el rendimiento esperados de las válvulas ALD Swagelok® , a la vez que permite una estabilidad de temperatura y unas posibilidades de caudal antes inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y productos químicos de baja presión de vapor, a fin de conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar la tecnología avanzada sin cambiar significativamente el proceso.
ALD3, ALD6, ALD7A, and ALD7C Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 482°F (250°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Referencias
Escríbenos con la referencia o la aplicación y te ayudamos a elegir la configuración correcta.